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SkyScan 1275高分辨三維X射線顯微成像系統(tǒng)是一款非常適合于快速測(cè)定樣品的X射線三維成像系統(tǒng),在不降低圖像質(zhì)量的情況下,可以在幾分鐘之內(nèi)完成一個(gè)樣品的掃描。圖形處理技術(shù)的革新更進(jìn)一步提升了圖像重建的質(zhì)量和速度。通過體繪制可以快速、逼真地重建樣品的三維可視化圖像,*質(zhì)量的三維圖像揭示了樣品內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu),利用軟件中的虛擬切割和虛擬工具可以很好地展現(xiàn)樣品內(nèi)部的全部細(xì)節(jié)。
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工業(yè)部件缺陷高分辨三維X射線顯微成像系統(tǒng)
3D XRM 的分辨率 體素尺寸(Voxel Size)
體素尺寸=重構(gòu)數(shù)據(jù)集中的體素尺寸
由系統(tǒng)幾何和探測(cè)器的物理像素尺寸(間距)決定
至少需要2個(gè)體素來識(shí)別特征(奈奎斯特采樣定理)
放大倍數(shù)= SDD / SOD
體素尺寸= 探測(cè)器像素間距/放大倍數(shù)
實(shí)例:
探測(cè)器像素間距(detector pitch)= 18 µm
SOD = 10 mm
SDD = 300 mm
體素尺寸= 0.6 µm
3D XRM 的分辨率 空間分辨率
空間分辨率 = 成像系統(tǒng)中能夠識(shí)別的兩個(gè)相鄰特征的小間距
空間分辨率受到這些因素綜合影響
x射線源的焦點(diǎn)尺寸
體素尺寸
襯度(如果材料的平均原子序數(shù)相同,你就無法分辨它們)
因此
永遠(yuǎn)無法分辨比x射線焦點(diǎn)尺寸小的特征
無法分辨小于體素尺寸的特征(至少2個(gè)體素要求)
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