2021欧美一区二区三区,亚洲五十路熟女中出,欧美日韩国产高清一区二区,欧美双茎同入在线播放

技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章XRD應(yīng)用分享 | X射線反射率

XRD應(yīng)用分享 | X射線反射率

更新時(shí)間:2024-05-22點(diǎn)擊次數(shù):1180

作為一種非破壞性的表面敏感技術(shù),X 射線反射率(XRR)普遍用于薄膜厚度和粗糙度的表征。 當(dāng)X射線的入射角高于臨界角時(shí),X 射線束可以部分地透射進(jìn)薄膜從而在界面反射。在一個(gè)理想平面上,根據(jù)菲涅耳方程,X射線的反射率以系數(shù)下降。此外,反射強(qiáng)度也受薄膜表面和界面的粗糙度影響。納米尺度范圍的粗糙表面可因誘導(dǎo)的漫散射而進(jìn)一步降低反射強(qiáng)度。 因此,可以通過(guò)擬合XRR曲線來(lái)確定薄膜表面和界面的粗糙度。同時(shí),表面和界面反射光束之間的干涉會(huì)在XRR曲線上產(chǎn)生周期性振蕩,即所謂的 Kiessig 條紋。通過(guò)測(cè)定振蕩周期可以計(jì)算薄膜的厚度,即 . 此外,散射長(zhǎng)度密度(SLD)反映了材料的散射能力,與材料的物理密度有關(guān)。在 XRR 測(cè)量中,SLD 可以影響薄膜的全反射臨界角以及Kiessig條紋的振蕩幅度。通過(guò)擬合XRR曲線,可以直接給出分層結(jié)構(gòu)的密度對(duì)比。圖1中給出了圖 XRR曲線與薄膜結(jié)構(gòu)參數(shù)關(guān)系。本文以不同結(jié)構(gòu)的薄膜為例,展示XRR在薄膜材料結(jié)構(gòu)分析中的應(yīng)用。 

 

XRR的特點(diǎn):

1. 無(wú)損檢測(cè)

2. 對(duì)樣品的結(jié)晶狀態(tài)沒(méi)有要求,不論是單晶膜、多晶膜還是非晶膜均可以進(jìn)行測(cè)試

3. XRR適用于納米薄膜,要求厚度小于200nm

4. 晶面膜,表面粗糙度一般不超過(guò)5nm

5. 多層膜之間要求有密度差

 

單層膜分析-樣品:80nmIZO/玻璃(襯底)

本例中IZO薄膜的設(shè)計(jì)厚度時(shí)80nm,通過(guò)XRR曲線擬合得到實(shí)際的薄膜厚度為73.18nm,如圖2所示。

圖2 IZO薄膜XRR曲線(紅色點(diǎn)),擬合曲線(藍(lán)色實(shí)線)以及結(jié)果(右上角)

 

多層膜分析-樣品:Cu/Ta/Si(襯底)

XRR測(cè)試準(zhǔn)確確定了各層薄膜的結(jié)構(gòu)參數(shù)。表層Cu2O是的Cu層氧化導(dǎo)致的。

圖3 Cu/Ta/Si(襯底)多層膜XRR曲線(紅色點(diǎn)),擬合曲線(藍(lán)色實(shí)線)以及結(jié)果(右上角)

 

超晶格

本例中,目標(biāo)為Si/x(W/Si)/Si(襯底),x=10超晶格薄膜。為了確定生長(zhǎng)后,超晶格的周期及重復(fù)單元單層的生長(zhǎng)情況,利用XRR進(jìn)行了表征,如圖3。XRR曲線中,超晶格衛(wèi)星峰和衛(wèi)星峰間的干涉峰非常明顯且均勻,說(shuō)明超晶格薄膜生長(zhǎng)均勻,質(zhì)量很好。 不過(guò),仔細(xì)觀察超晶格曲線發(fā)現(xiàn)(圖4):x=10個(gè)周期的超晶格,理論上兩衛(wèi)星峰之間的干涉條紋周期為x-2=8個(gè)極大值,但實(shí)際測(cè)得只有7個(gè)極大值。說(shuō)明超晶格周期為9,而非理論上的10個(gè)周期。為了進(jìn)一步證明和分析超晶格的結(jié)構(gòu),根據(jù)動(dòng)力學(xué)理論,分別用理論的10個(gè)周期及實(shí)際分析出的9個(gè)周期結(jié)構(gòu)模型擬合XRR曲線,9個(gè)周期的模型得到了很好的結(jié)果,見(jiàn)表1。說(shuō)明超晶格表層沒(méi)有生長(zhǎng)為整個(gè)的周期結(jié)構(gòu)。見(jiàn)表1。說(shuō)明超晶格表層沒(méi)有生長(zhǎng)為整個(gè)的周期結(jié)構(gòu)。

 圖4 中5.7-7.6°范圍的放大圖譜

 

表1 XRR擬合結(jié)果

 

圖5 超晶格XRR曲線:黑色點(diǎn):實(shí)驗(yàn)曲線;紅色實(shí)線:擬合曲線。

掃一掃,關(guān)注公眾號(hào)

服務(wù)電話:

021-34685181 上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com
Copyright © 2025束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司 All Rights Reserved  備案號(hào):滬ICP備17028678號(hào)-2
欧美日本亚一级二级三区久久精品-日韩欧美一区二区久久婷婷| 国产精品电影在线一区-亚洲国产大片一区二区官网| 国产高清av免费在线观看-黄片毛片大全一区二区三区| 亚洲永久免费在线观看-亚洲欧美导航一区二区导航| 99精品只有久久精品免费-蜜臀一区二区三区精品久久久| 日韩毛片在线免费人视频-超碰中文字幕av在线| 日本女优一卡二卡在线观看-欧美大胆a级视频秒播| 欧美一级一线在线观看-亚洲一区二区亚洲三区| 欧美精品午夜一二三区-a屁视频一区二区三区四区| 精品国产综合一区二区三区-蜜臀一区二区三区刺激视频| 亚洲国产中文欧美一区二区三区-国产精品一区二区视频成人| 久久99国产综合精品女人-日韩一区二区三区在线不卡| 亚洲国产欧美日韩不卡-熟妇激情一区二区三区| 日本韩国亚洲欧美三级-日本东京不卡网一区二区三区| 亚洲精品在线观看一二三区-在线观看国产中文字幕视频| 欧美日韩国产亚洲免费-肉体粗喘娇吟国产91| 亚洲欧美日韩国产一区二区三区-国产欧美日韩一区二区免费| 国产欧美日韩中文字幕在线-国产伊人一区二区三区四区| 蜜臀av日日欢夜夜爽一区-av在线免费永久播放| 国产人妻人伦精品日本-国产98超碰人人做人人爱| 黑丝av少妇精品久久久久久久-中文字幕久久久人妻无码| mm在线精品视频在线观看-欧美国产日韩在线一区二区三区| 性色国产成人久久久精品二区三区-偷窥中国美女洗澡视频| 亚洲国产日韩精品四区-dy888午夜福利精品国产97| 婷婷亚洲欧美综合丁香亚洲-超刺激国语对白在线视频| 亚洲精品一区网站在线观看-黄页视频免费观看网站| 美女把腿张开给帅哥桶-无码无套少妇18p在线直播| 日韩二级视频在线观看-美女扒开奶罩露出奶子的视频网站| 久久久噜噜噜久久狠狠50岁-精品一区二区三区av| 日韩毛片在线免费人视频-超碰中文字幕av在线| 欧美aa一级视频播放-久一一区二区三区大香蕉| 亚洲欧美日韩国产一区二区三区-国产欧美日韩一区二区免费| 国产精品一区二区欧美视频-国产一区二区三区天码| 国产老熟女激情小视频-成人一区二区人妻不卡视频| 欧美精品一区二区三区爽爽爽-日韩国产精品亚洲经典| 中文字幕日韩精品不卡一区二区-成人av在线观看一区二区| 欧美一区二区三区调教视频-三上悠亚国产精品一区二区三区| 亚洲愉拍自拍欧美精品app-亚洲一区不卡在线视频| 韩漫一区二区在线观看-精品国产免费未成女一区二区三区| 久久免费观看归女高潮特黄-黄色av一本二本在线观看| 久久精品国产亚洲av湖南-竹菊精品一区二区三区|